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  • 真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道?原因：油池破裂或密封不良。解決方法：檢查油池。
  • 分子泵無法直接將氣體壓縮到常壓，即無法直接對大氣排氣。基于分子泵的工作原理，在開啟分子泵前必須配置一臺輔助前級泵。
  • 分子泵必須在分子流狀態下工作，在分子流范圍內，氣體分子的平均自l由程長度遠大于分子泵葉片之間的間距，而氣體分子的平均自a由程長度會隨著容器壓力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大氣，反而無法顯示出它的優越性。
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