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  • 分子泵使用中發現油發黑,請問油為什么發黑?或者多長時間油才會變黑?原因:冷卻不良,負載太大。解決方法:檢查冷卻系統,檢查真空系統。
  • 分子泵必須在分子流狀態下工作,在分子流范圍內,氣體分子的平均自l由程長度遠大于分子泵葉片之間的間距,而氣體分子的平均自a由程長度會隨著容器壓力下降而增加,因此分子泵如果直接抽取大氣,反而無法顯示出它的優越性。
  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達10-3mbar,但油泵容易產生返油倒吸的問題,如果沒有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染,從而導致分子泵提供的真空環境里會存在一定含量的碳氫化合物,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會直接影響客戶的測試結果;另外還需要定時換油,總體來說維護成本高,能耗大。
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