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  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達10-3mbar,但油泵容易產生返油倒吸的問題,如果沒有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染,從而導致分子泵提供的真空環境里會存在一定含量的碳氫化合物,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會直接影響客戶的測試結果;另外還需要定時換油,總體來說維護成本高,能耗大。

  • 分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應如何做才是好的方式?答:電源本身有接地線,只需要保證市網有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

  • 分子泵是否對冷卻有明確要求?如風冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會出現何后果?答:注意水溫和水流量,冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。

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