求救,超高真空抽氣系統中的氫分壓突然升高,該怎么辦?
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  • 排除方法:1.低于150攝氏度長時間烘烤去氣2.冷卻水溫應低于14攝氏度,運轉中保證冷卻系統正常工作
  • 原因:1.泵體沒徹*烘烤除氣2.冷卻水溫過高或冷卻系統故障使泵溫升高
  • 分子泵使用過程出現超高真空抽氣系統中的氫分壓突然升高現象,原因和解決辦法
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