愛德華分子泵維修的維修注意事項有哪些? 感謝回答
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  • 當愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 當愛德華分子泵維修未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。

  • 打開愛德華分子泵維修之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。

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