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Edwards進口分子泵的維修注意事項有哪些? 急需賜教
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  • 當Edwards進口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • 當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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