Edwards進口分子泵維修要注意哪些? 有懂行的嗎?
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  • 當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進行處理。

  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

  • Edwards進口分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵

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