Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢?拜托了幫個忙
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  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。

  • Edwards真空分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵

  • Edwards真空分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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