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維修Edwards進口分子泵時需要注意什么？ 有懂行的嗎？
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  • Edwards進口分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • Edwards進口分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
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