Edwards真空分子泵的維修注意事項(xiàng)是?大家推薦一下
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  • 當(dāng)Edwards真空分子泵未啟動(dòng)時(shí),檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí),必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)Edwards真空分子泵之前,請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí),嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。
  • Edwards真空分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
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