網友們請賜教！Edwards真空分子泵發生故障怎么辦？

Edwards二手分子泵在運轉過程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問該現象如何解釋？ 原因：負載太大，系統真空度不.. 全文

Edwards真空分子泵特點優勢： 先進的油壓回路可提供有效的潤滑（即使是在高氣體負荷下） 當泵關閉時，彈簧式分配閥可提供油和空氣反吸保護 氣鎮控制可幫助處理高水蒸汽負荷 傳動軸桿上安裝有工業級滾柱軸.. 全文

如果普發 Pfeiffer真空泵吸入雜質、灰塵、水、化學制品等潛在危害，應在空氣處安裝精密過濾器 真空泵的入口。 如果雜質、灰塵、水分過多，須加裝儲罐進行過濾，防止灰塵、水化學物等雜質進入真空泵 全文

Edwards真空分子泵特點優勢： 先進的油壓回路可提供有效的潤滑（即使是在高氣體負荷下） 當泵關閉時，彈簧式分配閥可提供油和空氣反吸保護 氣鎮控制可幫助處理高水蒸汽負荷 傳動軸桿上安裝有工業級滾柱軸.. 全文