請(qǐng)問:維修Edwards真空分子泵維修要注意什么?
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  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。

  • 打開Edwards真空分子泵維修之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前,請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí),嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。

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