維修Edwards真空分子泵維修要注意什么? 幫忙解答一下
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  • Edwards真空分子泵維修的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
  • Edwards真空分子泵維修不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵
  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。
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