當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
Edwards進口分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
真空泵維修廠家哪家好？大家推薦一下
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