Pfeiffer渦輪分子故障的處理辦法有哪些?
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  • 異物進入Pfeiffer渦輪分子泵工藝環境粉塵較多或有異物進入分子泵時,會對高速旋轉的葉片和轉子造成巨大損害,建議立即停機送修檢測。

  • Pfeiffer渦輪分子泵真空度正常,可以達到全速,但是噪音大分子泵運行超過3年,可能內部陶瓷球軸承已磨損;如果放任不管,后續會磨損轉子,對泵體內部造成更嚴重的損傷

  • Pfeiffer渦輪分子泵無法達到全速,真空度抽不下去請檢查前級真空是否正常,如果是分子泵組,請先打開氣鎮閥抽一段時間后在觀察下,無法解決問題建議立即送修檢測

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