Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢? 幫忙解答一下
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  • Edwards真空分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
  • 當(dāng)Edwards真空分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。
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