分子泵控制器發(fā)生故障應(yīng)該如何處理？

Edwards真空分子泵低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

分子泵無法達(dá)到全速，真空度抽不下去請(qǐng)檢查前級(jí)真空是否正常，如果是分子泵組，請(qǐng)先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時(shí)間后在觀察下，無法解決問題建議立即送修檢測(cè)。 全文

分子泵維護(hù)保養(yǎng)指南分子泵（如渦輪分子泵、復(fù)合分子泵）是獲取高真空和超高真空的設(shè)備，其精密結(jié)構(gòu)和高速運(yùn)轉(zhuǎn)特性要求嚴(yán)格、規(guī)范的維護(hù)保養(yǎng)，以確保性能穩(wěn)定、延長(zhǎng)使用壽命并減少意外停機(jī)。維護(hù)保養(yǎng)內(nèi)容：1.日常監(jiān).. 全文