由于進氣濾芯或者其他原因導致普發渦輪分子泵浦內進入異物，影響泵浦整體的旋轉運動，導致缸體磨損，久而久之導致泵浦卡死。 全文

當Edwards二手分子泵出現故障無法使用時，應暫停生產，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。 全文

渦輪分子泵（TMP）的價格范圍相當大，受多種關鍵因素影響，無法給出單一價格點。以下價格影響因素：1.抽速：這是決定價格的首要因素。抽速越大，泵的結構越復雜（更多級葉輪/定片），制造精度要求越高，材料成.. 全文

真空度很好的情況下，Edwards進口分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文