敢問大家，維修愛德華分子泵控制器時需要注意什么？

Edwards進口分子泵低振動：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會隨零件磨損而化。 全文

愛德華分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？ 原因：應是偶爾發生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 解決方式：應是偶爾發生的事情.. 全文

愛德華分子泵控制器使用中發現油發黑，請問油為什么發黑？或者多長時間油才會變黑？ 原因：冷卻不良，負載太大 解決方法：檢查冷卻系統，檢查真空系統 全文

當Edwards真空分子泵維修未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。 全文