維修Edwards進口分子泵要注意什么?大家可以說一下嗎?
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  • 檢查真空表是不是出現了問題,Edwards進口分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。

  • 打開Edwards進口分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。

  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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