維修Edwards進(jìn)口分子泵要注意什么?大家可以說(shuō)一下嗎?
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  • Edwards進(jìn)口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 打開(kāi)Edwards進(jìn)口分子泵之前,必須先打開(kāi)冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。
  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題,Edwards進(jìn)口分子泵出口是否打開(kāi),機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。
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