Pfeiffer渦輪分子泵故障維修的方法?感謝回答
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  • 分子泵無法達到全速,真空度抽不下去請檢查前級真空是否正常,如果是分子泵組,請先打開氣鎮閥抽一段時間后在觀察下,無法解決問題建議立即送修檢測。
  • 油棉污染油棉變黑,發黃,建議3-4年更換分子泵油棉,Pfeiffer 復合軸承分子泵內部陶瓷軸承采用油潤滑方式,可以給軸承降溫,減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承,避免污染物附著在軸承上面,有效延長分子泵的使用壽命。
  • 德國 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 系列,采用復合軸承設計,內部主要由陶瓷球軸承,轉子軸,安全軸承和磁性軸承組成,正常運行3-4年建議做一次標準保養
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