請(qǐng)問(wèn):Edwards真空分子泵維修注意事項(xiàng)有哪些?
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  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否在R位置,此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。

  • Edwards真空分子泵排氣過(guò)濾器/排氣管路堵塞。對(duì)策:更換排氣過(guò)濾器并檢查看是否需要清洗排氣管路,一般每月檢查排氣過(guò)濾器,每年要更換一次。

  • Edwards真空分子泵油溫低于12℃(54℉)。對(duì)策:把泵和泵油加熱到需要的溫度值以上或使用適用于此臺(tái)真空泵牌號(hào)的真空泵油。

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