維修Pfeiffer渦輪分子的方法有哪些?教期待大神解答
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  • Pfeiffer渦輪分子泵Hipace系列,采用復合軸承設計,內部主要由陶瓷球軸承,轉子軸,安全軸承和磁性軸承組成,正常運行3-4年建議做一次標準保養

  • Pfeiffer渦輪分子真空度正常,可以達到全速,但是噪音大分子泵運行超過3年,可能內部陶瓷球軸承已磨損;如果放任不管,后續會磨損轉子,對泵體內部造成更嚴重的損傷。

  • 異物進入Pfeiffer渦輪分子:工藝環境粉塵較多或有異物進入分子泵時,會對高速旋轉的葉片和轉子造成巨大損害,建議立即停機送修檢測。

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