大神們！麻煩回答一下Edwards二手分子泵如何維修？

渦輪分子泵是一種利用高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換原理工作的真空泵，主要應用于需要快速獲得高真空或超高真空環(huán)境的領域。其優(yōu)勢在于清潔無油、抽速快、極限真空度高（可達10^-7至10^-11 Pa），是.. 全文

真空度很好的情況下，愛德華分子泵控制器油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

Edwards進口分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？ 原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 解決方式：應是偶.. 全文

Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏 全文