維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節？ 有懂行的嗎？
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  • 當Edwards二手分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards二手分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
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