維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節? 還請不吝賜
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
  • 打開Edwards二手分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
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