Edwards進口分子泵維修要注意什么內(nèi)容?教期待大神解答
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards進口分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
  • Edwards進口分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵
  • 當(dāng)Edwards進口分子泵出現(xiàn)故障無法使用時,應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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