Varian進口真空泵維修的方法有哪些?

愛德華分子泵控制器為何會發生半邊熱，半邊冷的現象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文

對正常運轉的泵，一般只用一臺，因為一臺大泵與并聯工作的兩臺小泵相當，（指揚程、流量相同），大泵xiao率高于小泵，故從節能角度講寧可選一臺大泵，而不用兩臺小泵 全文

當Edwards二手分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。 全文

高真空分子泵啟動困難的維修方法需要結合系統排查與針對性處理，以下是常見原因及解決方法： 一、常見原因分析1. 電源與驅動故障：供電電壓不穩定、控制器參數錯誤或驅動器元件老化可能導致啟動電流不足。2. .. 全文