Edwards進口分子泵維修要注意什么內容？大俠們，求解
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  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 打開Edwards進口分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。
  • 當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時，應暫停生產，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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