Edwards進口分子泵的維修方法有什么？ 想知道
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  • 真空度很好的情況下，Edwards進口分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池
  • Edwards進口分子泵為何會發生半邊熱，半邊冷的現象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源
  • Edwards進口分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？ 原因：應是偶爾發生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 解決方式：應是偶爾發生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。
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