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維修Edwards進口分子泵要注意什么？ 十萬火急！
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  • 當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時，應暫停生產，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • 當Edwards進口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
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