有誰(shuí)知道:高真空渦輪分子泵維修保養(yǎng)的方法?
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  • 對(duì)于高真空/超高真空系統(tǒng),當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后,系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來(lái)越大,而此時(shí)氫氣的返流也越來(lái)越明顯,因此此時(shí)分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對(duì)氫氣的壓縮比越大,分子泵對(duì)氫氣的實(shí)際有效抽速就越大;反之,則實(shí)際有效抽速已經(jīng)所剩無(wú)幾。
  • 在高真空渦輪分子泵剛剛開(kāi)始工作的階段,由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口,所以這種返流對(duì)實(shí)際抽速帶來(lái)的影響不是很大,而隨著進(jìn)氣口壓力的下降,分子泵抽下來(lái)的氣體量在減少,這時(shí),氣體返流對(duì)抽速的影響也就大起來(lái)了。這就是分子泵對(duì)小分子氣體,特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
  • 高真空渦輪分子泵內(nèi)有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)(每分鐘幾萬(wàn)轉(zhuǎn))的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動(dòng)級(jí)進(jìn)行抽氣。
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