愛德華分子泵維修維修有什么注意事項(xiàng)? 知道的請回答
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  • 當(dāng)愛德華分子泵維修未啟動(dòng)時(shí),檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí),必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
  • 當(dāng)愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 愛德華分子泵維修不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵
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