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Edwards二手分子泵維修有哪些是需要注意的？ 還請不吝賜
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  • 當Edwards二手分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
  • Edwards二手分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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