在半導體制造、精密儀器分析、科研等依賴超高/極高真空的領(lǐng)域，渦輪分子泵如同系統(tǒng)的“心臟”。其高速旋轉(zhuǎn)的精密葉輪（轉(zhuǎn)速常達數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘）通過分子牽引效應(yīng)實現(xiàn)氣體定向抽除，是獲得潔凈極限真空的設(shè)備。其技術(shù).. 全文

噴油：(1)系統(tǒng)突然暴露大氣。關(guān)低真空閥，繼續(xù)開閥。(2)油量過多。調(diào)節(jié)油量。(3)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向反了。重接電源，換向。 全文

Edwards進口分子泵使用高壓強耐沖擊分子泵同時配合控制電源使用，大大增強了儀器的可靠性，特別是當遇到爐管密封系統(tǒng)與在使用過程中的大氣相通，導致系統(tǒng)會自動停止工作時，只需等待爐管密封系統(tǒng)恢復正常就可.. 全文

當Edwards二手分子泵出現(xiàn)故障無法使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。 全文