維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節? 急!急!急!
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  • 打開Edwards二手分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards二手分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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