分子泵選型需要注意哪些事項?
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  • -滿足系統的抽氣要求,工作節拍在對系統的氣載、工作節拍有較清楚計算的基礎上,考慮配泵的大小,數量。同時還要考慮到前級泵的大小,以及分子泵在高壓強段有效抽速降低等因素對于大的工作腔室,要考慮配羅茨泵機組,使得系統盡快地渡過高壓強工作段

  • -滿足系統的本底壓強(極限)的要求系統的極限壓強除與分子泵的極限壓強有關外,與排氣時間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤諸多因素有關。同一型號的分子泵在極限指標方面有微小差異,差異一般不會高于辦個量級。

  • 分子泵的使用——總體安裝注意1)安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞2)打開泵高真空端法蘭蓋板,戴好手套,撥動渦輪轉子,應轉動靈活,無異常現象3)安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求4)確認防護網已安裝,特殊情況下定做特殊防護網5)確認已安裝潤滑油

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