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分子泵選型需要注意哪些事項(xiàng)?
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  • 分子泵的使用——總體安裝注意1)安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否被損壞2)打開泵高真空端法蘭蓋板,戴好手套,撥動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子,應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活,無(wú)異常現(xiàn)象3)安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求4)確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝,特殊情況下定做特殊防護(hù)網(wǎng)5)確認(rèn)已安裝潤(rùn)滑油
  • -滿足系統(tǒng)的本底壓強(qiáng)(極限)的要求系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)除與分子泵的極限壓強(qiáng)有關(guān)外,與排氣時(shí)間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤諸多因素有關(guān)。同一型號(hào)的分子泵在極限指標(biāo)方面有微小差異,差異一般不會(huì)高于辦個(gè)量級(jí)。
  • -滿足系統(tǒng)的抽氣要求,工作節(jié)拍在對(duì)系統(tǒng)的氣載、工作節(jié)拍有較清楚計(jì)算的基礎(chǔ)上,考慮配泵的大小,數(shù)量。同時(shí)還要考慮到前級(jí)泵的大小,以及分子泵在高壓強(qiáng)段有效抽速降低等因素對(duì)于大的工作腔室,要考慮配羅茨泵機(jī)組,使得系統(tǒng)盡快地渡過高壓強(qiáng)工作段
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