Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏 全文

Edwards進(jìn)口分子泵軸承為什么會(huì)燒毀 原因：①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過(guò)熱③沒(méi)有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵 解決方法：①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵 全文

磁懸浮分子泵的過(guò)載保護(hù)方法?：對(duì)于磁懸浮分子泵，可以通過(guò)獲取電流參數(shù)和轉(zhuǎn)速參數(shù)，計(jì)算當(dāng)前渦輪溫度，根據(jù)溫度確定穩(wěn)定轉(zhuǎn)速，從而控制分子泵的運(yùn)行。這種方法可以防止電機(jī)、渦輪、泵體過(guò)溫，保護(hù)磁懸浮分子泵的運(yùn).. 全文

真空泵維修、抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開(kāi)氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。 全文