Edwards二手分子泵維修有什么注意事項？大俠們，求解
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  • 當Edwards二手分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • Edwards二手分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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