Edwards二手分子泵維修有什么注意事項？ 感謝回答
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  • 打開Edwards二手分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。
  • 當Edwards二手分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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