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麻煩請教各位!維修愛德華分子泵維修要注意哪些細節(jié)?
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  • 愛德華分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。
  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開愛德華分子泵維修之前,請確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • 當(dāng)愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
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