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  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達(dá)10-3mbar,但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問(wèn)題,如果沒(méi)有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染,從而導(dǎo)致分子泵提供的真空環(huán)境里會(huì)存在一定含量的碳?xì)浠衔铮绊懯褂茫徊⑶矣捅貌僮鳒囟容^高,如果散熱效果較差,會(huì)直接影響客戶(hù)的測(cè)試結(jié)果;另外還需要定時(shí)換油,總體來(lái)說(shuō)維護(hù)成本高,能耗大。
  • 分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象? 原因:附近有光照或其他熱源。 解決方法:避免光照或熱源。
  • 分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w,如M5的頂絲等,請(qǐng)問(wèn)是否對(duì)分子泵的使用有影響?應(yīng)如何解決?原因:應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對(duì)分子泵沒(méi)有影響。 解決方式:應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對(duì)分子泵沒(méi)有影響。
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