維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節? 想知道
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵

  • 當Edwards二手分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 當Edwards二手分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。

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