真空泵是怎么分類的？拜托了幫個忙
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  • 極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。
  • 泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
  • 極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。
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