維修Agilent進(jìn)口分子泵時需要注意什么?有懂行的嗎?
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  • Agilent進(jìn)口分子泵噴油,說明進(jìn)氣口外有大量的漏點,甚至是進(jìn)氣口*露大氣。解決之道:封住泵的進(jìn)氣口使泵運轉(zhuǎn),如果不噴油的話,說明有漏點;排氣閥片損壞,檢查排氣閥片是否損壞,更換壞的排氣閥。
  • Agilent進(jìn)口分子泵冒煙,如果是泵剛剛開始運轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象,屬于正常,如果長時間在冒煙就是不正常了。解決之道:冒煙說明泵的進(jìn)氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了,冒煙會結(jié)束。
  • Agilent進(jìn)口分子泵維修、抽不到真空泵的極限真空度:首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性,看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開氣鎮(zhèn),讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽,排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。
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