維修Edwards二手分子泵要注意哪些細(xì)節(jié)? 有懂行的嗎?
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開(kāi),必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

  • 當(dāng)Edwards二手分子泵出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí),應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動(dòng)充滿(mǎn)空氣后更換備用分子泵。

  • 打開(kāi)Edwards二手分子泵之前,必須先打開(kāi)冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

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