維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節? 幫忙解答一下
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵

  • Edwards二手分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • Edwards二手分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。

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