******們請(qǐng)賜教!維修Edwards真空分子泵維修要注意什么?
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards真空分子泵維修出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前,請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí),嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。

  • 當(dāng)Edwards真空分子泵維修出現(xiàn)故障無法使用時(shí),應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。

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