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瓦里安分子泵電機燒壞：主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了
瓦里安分子泵主要分為立式和臥式兩種。復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。

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