幫忙一下,維修Edwards進(jìn)口分子泵時(shí)需要注意什么?
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  • Edwards進(jìn)口分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒(méi)有到位時(shí),請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí),檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí),必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
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